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Welche entscheidenden Funktionen erfüllen hochpräzise Federn in Halbleiteranlagen?

Hauptanwendungen:

Polylithographie-Maskenbühnen-Pufferfedern

(Nanometerpräzise Schwingungskontrolle)

Kontaktfedern für Vakuum-Roboterarme

(Partikelkontaminationssicheres Design)

Besondere Anforderungen:

Entmagnetisierungsbehandlung (Relative Permeabilität μ ≤ 1,01)

Ultrasaubere Verpackung (Reinraumstandard Klasse 1000)