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Hauptanwendungen:
Polylithographie-Maskenbühnen-Pufferfedern
(Nanometerpräzise Schwingungskontrolle)
Kontaktfedern für Vakuum-Roboterarme
(Partikelkontaminationssicheres Design)
Besondere Anforderungen:
Entmagnetisierungsbehandlung (Relative Permeabilität μ ≤ 1,01)
Ultrasaubere Verpackung (Reinraumstandard Klasse 1000)